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E. Scheid
Affiliation : Centre National de la Recherche Scientifique · Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes · Université de Toulouse
- 7Publications (affiliation française)
- 189Publications au total
- 1800Citations
- 23Indice h
Profil de recherche
E. Scheid compte 7 publications référencées (1997–2011). Ses travaux paraissent principalement dans « International Conference on Electrical and Electronics Engineering », « Materials Science in Semiconductor Processing » et « Spectroscopy Letters ». Son article le plus cité, « Boron Diffusion and Activation during Heat Treatment in Heavily Doped Polysilicon Thin Films for P+ Metal-Oxide-Semiconductor Transistors Ga » (2001), a été cité 24 fois. 3 de ces publications datent des trois dernières années d’activité. Ses travaux sont cosignés avec au moins 5 chercheurs, notamment dans des établissements de Japon.
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- Semiconductor materials and devices
- Semiconductor materials and interfaces
- Silicon and Solar Cell Technologies
- Copper Interconnects and Reliability
- Advanced Materials and Semiconductor Technologies
Publications (7)
- Influence of the annealing condition on the BN bonds intensity detected by FTIR characterization
- Nitrogen doped silicon films heavily boron implanted for MOS structures: Simulation and characterization
- Physicochemical Characterization of Annealed PolySi/NIDOS/SiO2 Structures
- Boron diffusion and activation in polysilicon multilayer films for P+ MOS structure: Characterization and modeling
- A Monte Carlo simulation study of boron profiles as-implanted into LPCVD–NiDoS polycrystalline thin films
- Boron Diffusion and Activation during Heat Treatment in Heavily Doped Polysilicon Thin Films for P+ Metal-Oxide-Semiconductor Transistors Gates
- Electrical characteristics of thin silica layers nitrided by LPCVD nitrogen doped silicon
Revues de publication
- International Conference on Electrical and Electronics Engineering × 1
- Materials Science in Semiconductor Processing × 1
- Spectroscopy Letters × 1
- Microelectronics Journal × 1
- Solid State Communications × 1
- Japanese Journal of Applied Physics × 1
Publications par année
- 20111
- 20101
- 20091
- 20081
- 20031
- 20011
- 19971
Collaborations
Établissements partenaires : Laboratory for Integrated Micro-Mechatronic Systems · The University of Tokyo · Université Toulouse III - Paul Sabatier
Pays des co-auteurs : Japon
Co-auteurs
Données bibliographiques issues d’OpenAlex (base ouverte).
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